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山東凈化車間工程潔凈技術(shù)是一門跨專業(yè)、跨部門、跨學(xué)科的綜合性的新興分支學(xué)科。其誕生及最初應(yīng)用是服務(wù)于軍事，第二次世界大戰(zhàn)中一些槍炮、戰(zhàn)車、飛機等使用的儀器合格率或經(jīng)常發(fā)生故障。研制者認識到，儀器生產(chǎn)與裝配環(huán)境空氣中的懸浮顆粒物是罪魁禍?zhǔn)?，于是工業(yè)潔凈室誕生了。最初的工業(yè)潔凈室是比較簡陋的，隨著原子武器研究和生化武器研究的發(fā)展，在20世紀(jì)40年代初高效空氣過濾器研制成功并得到應(yīng)用，20世紀(jì)60年代初又出現(xiàn)“單向流”潔凈室，這些設(shè)備與技術(shù)的誕生成為潔凈技術(shù)發(fā)展的里程碑，奠定了現(xiàn)代潔凈技術(shù)的基礎(chǔ)。

起初潔凈工程潔凈標(biāo)準(zhǔn)是由美國制定的，應(yīng)用廣泛，單位為英制。每立方英尺空氣中≥0.5μm塵粒的最大允許粒子數(shù)。另一種為國際單位，表示時為每立方米空氣中≥0.5μm塵粒的最大允許粒子數(shù)的常用對數(shù)值?，F(xiàn)代工業(yè)潔凈室雖然仍以懸浮顆粒物為主要控制對象，但在某些工藝過程中對空氣中分子態(tài)污染物（AMC）也提出了控制要求。因此，空氣凈化技術(shù)的關(guān)鍵設(shè)備也從單一的粒過濾器發(fā)展到可以吸附有害氣態(tài)物質(zhì)的化學(xué)過濾器器。

微電子行業(yè)是現(xiàn)代工業(yè)潔凈室應(yīng)用的代表。主要產(chǎn)品是大規(guī)模集成電路和平板顯示器。半個多世紀(jì)以來，集成電路得到迅猛發(fā)展，隨著集成度的增加，元件中的線寬不斷縮小，因此對空氣懸浮顆粒物的控制粒徑也越來越小，一般認為控制粒徑應(yīng)當(dāng)是線寬的1/10~1/3，但由于線寬越來越小，這一要求也難以達到了。微電子產(chǎn)品的迅速發(fā)展對傳統(tǒng)的潔凈技術(shù)提出了極大的挑戰(zhàn)，同時也促進了現(xiàn)代潔凈技術(shù)的發(fā)展。 工業(yè)潔凈室以空氣中的懸浮顆粒物為主要控制對象，主要為精密機械和電子產(chǎn)品等行業(yè)提供符合要求的生產(chǎn)環(huán)境。六十年代初是中國潔凈技術(shù)發(fā)展的起步階段，大致比國外晚了十年。在中國，那是一個非常特殊的困難年代，一方面剛度過三年自然災(zāi)害，經(jīng)濟基礎(chǔ)薄弱，另一方面與世界科技先進國家沒有直接交往，得不到必要的科技數(shù)據(jù)、信息和樣品。在這種艱難條件下，圍繞精密機械、航空儀表和電子工業(yè)的需要，中國的潔凈技術(shù)工作者開始了自己的創(chuàng)業(yè)歷程。

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